Introduction

Mathias Borella — 2009-01-31T09:40:23Z

TOUS les paramètres opérationnels d'un procédé de dépôt peuvent influencer les mécanismes de croissance. Une caractéristique importante de notre procédé de dépôt est la présence d'une assistance plasma. Ce sont les caractéristiques de ce milieu qui déterminent la chimie de la phase gazeuse et qui contrôlent les mécanismes à l'origine de la croissance du revêtement. La multiplicité des paramètres opérationnels conduit à des matrices expérimentales lourdes, y compris dans le cas de plans d'expériences, ou à (...) - 3. Croissance des revêtements