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Les revêtements en couches minces à partir de précurseurs organosiliciés par PECVD sont aujourd’hui courants et présents dans un nombre croissant de domaines d’application [1] (optique, mécanique, protection chimique, nano-systèmes, microélectronique...) dans le cadre de la fonctionnalisation des surfaces en raison de leur très fort potentiel d’innovation et de leur caractère propre : innocuité environnementale et faible consommation de matière. Il existe un très large choix de précurseurs permettant (...)