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30 janvier 2009, par Mathias Borella
La fonctionnalisation de surface est une étape clef dans la réalisation de micro-dispositifs tels que les MEMS ou les biopuces. Le contrôle localisé des propriétés de surface est également important dans de nombreuses situations telles que la gestion de l’eau dans les micro-piles à combustible ou lors de la localisation de substances chimiques ou biologiques. Ces travaux se proposent d’étudier le potentiel de la polymérisation plasma d’un composé organosilicié cyclique pour répondre à ces besoins (...)