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31 janvier 2009, par Mathias Borella
L’ETUDE des cinétiques de croissance des films minces a permis de mettre en évidence l’influence relative et complémentaire des paramètres et pour les trois cas étudiés. Dans un procédé de polymérisation plasma, un changement de la cinétique de croissance peut signifier des modifications de la conformation du film mince. Il faut donc s’attendre à ce que l’élaboration de films minces à différentes valeurs de conduise à l’obtention de matériaux aux propriétés différentes. Ce chapitre propose d’aborder la (...)