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06. Conclusions
19 février 2009, parLES objectifs initiaux du présent travail étaient la détermination des potentialités, en termes de fonctionnalisation de surface, d’un procédé de PECVD fonctionnant à partir d’un composé organosilicié au caractère cyclique. Nous avons défini la nécessité d’étudier les cinétiques et régimes de croissance ainsi que les propriétés physicochimiques des films minces afin de pouvoir déterminer les relations qui peuvent lier ces grandeurs de manière à assurer le contrôle et la transférabilité des procédés mis en (...)
