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15 février 2009, par Mathias Borella
Le phénomène de synthèse d’espèces volatiles au sein de la phase gazeuse par post-traitement sous atmosphère neutre de couches minces de polydiméthylcyclosiloxane plasma permet d’envisager un certain nombre d’applications potentielles. En effet, la section 5.3.4 a montré que ce type de traitement conduit à une déformation plastique de la couche mince. Cette annexe illustre quelques exemples d’applications potentielles de ce phénomène.
FIGURE 1 – Principe de synthèse de motifs localisés dans une (...)