Sommaire

• 1. Synthèse de films minces par polymérisation plasma

  Introduction
  1.1 Approche phénoménologique
  1.2 Dispositif expérimental de dépôt
  1.4 Objectifs

• 2. Caractérisation physico-chimique

  Introduction
  2.1 La spectroscopie infrarouge
  2.2 Ellipsométrie spectroscopique