I. Moyens et méthodes

Sommaire

• 1. Synthèse de films minces par polymérisation plasma

  Introduction

  1.1 Approche phénoménologique

  1.2 Dispositif expérimental de dépôt

  1.4 Objectifs

• 2. Caractérisation physico-chimique

  Introduction

  2.1 La spectroscopie infrarouge

  2.2 Ellipsométrie spectroscopique