Introduction

TOUS les paramètres opérationnels d’un procédé de dépôt peuvent influencer les mécanismes de croissance. Une caractéristique importante de notre procédé de dépôt est la présence d’une assistance plasma. Ce sont les caractéristiques de ce milieu qui déterminent la chimie de la phase gazeuse et qui contrôlent les mécanismes à l’origine de la croissance du revêtement. La multiplicité des paramètres opérationnels conduit à des matrices expérimentales lourdes, y compris dans le cas de plans d’expériences, ou à l’utilisation de modèles complexes qui ne sont pas l’objet du présent travail.

Afin de simplifier notre démarche expérimentale, nous utilisons les résultats des travaux de H. YASUDA et al. [1] qui montrent en substance que la puissance dissipée dans la décharge et le débit de gaz de précurseur sont les principaux paramètres contrôlant directement l’activation des réactions à l’origine de la formation du dépôt pour un procédé donné de polymérisation plasma.

Le premier objectif de ce chapitre est de valider, pour un domaine d’étude donné, ces observations dans le cas de matériaux obtenus par polymérisation plasma d’octaméthylcyclotetrasiloxane. Ainsi, la première partie du chapitre propose une étude cinétique de la croissance afin de connaître les régimes de fonctionnement du procédé pour le domaine défini.

Le second objectif est de déterminer l’influence du temps de traitement sur la croissance du revêtement en termes de cinétique de croissance et de morphologie. Il fait l’objet de la seconde partie du présent chapitre.


[1- H. YASUDA and T. HIROTSU. Critical Evaluation of Conditions of Plasma Polymerization. Journal of Polymer Science : Polymer Chemistry Edition, 16, pages 743–759, 1978.

- H.YASUDA. Glow Discharge Polymerization. Journal of Polymer Science : Macromolecular Reviews, 16, pages 199–293, 1981.

- H. YASUDA. Kinetic and Mechanistic Aspects of Polymer Deposition in Plasma Polymerization, chapter 8. Academic Press, Inc., 1985.

Avertissement

Le contenu de cet article est une reproduction numérique en ligne de la thèse de Mathias Borella soutenue en octobre 2006. Seules les informations délivrées dans l'édition papier du manuscrit font foi, sont valides et vérifiées. En cas de doute, merci de vous y référer.

Cet article a été publié en ligne pour la première fois en Janvier 2009. Il a été passé en revue pour la dernière fois le 31 janvier 2009.

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