Liste des symboles

Aire, m2.
Absorbance, ua.
$\mathcal{A}$ Aire intégrée, ua.
Célérité de la lumière, m.s-1.
Débit de gaz de dilution d, sccm.
$D_{bull}$ Débit de gaz de bullage, sccm.
$d_{ie}$ Distance inter-électrodes, mm.
Débit de précurseur, sccm.
Épaisseur, nm.
$\overrightarrow{E}$ Champ électrique, V.m-1.
Énergie d’activation, J.m-3.
Énergie libre, J.
Force, N.
Accélération de la pesanteur, m.s-2.
Facteur géométrique, cm-2.
Énergie libre, J.
Travail d’adhésion, J.
Indice optique, -.
Coefficient d’absorption, -.
Masse, kg.
Masse molaire, g.mol-1.
Pression, Pa.
$\mathcal{P}_{cp}$ Paramètre composite plasma, W.sccm-1.
Proportion relative, %.
Puissance, W.
$P^{\;s}_{u}$ Densité de puissance surfacique, W.cm-2.
$P^{\;v}_{u}$ Densité de puissance volumique, W.cm-3.
$\mathcal{R}$ Degré de réticulation, ua.
Écart moyen de rugosité, nm.
Écart quadratique de rugosité, nm.
Étalement, mJ.m-2.
Entropie, J.K-1.
Temps, s.
Température, K.
Transmittance, ua.
Énergie interne, J.
Volume, m3.
Vitesse de dépôt, nm.min-1.
$V_{DC}$ Tension d’auto-polarisation, V.
Travail, J.
Charge transverse, C.
$\alpha$ Constante de force centrale d’interaction O-Si, N.m-1.
$\beta$ Constante de force non centrale d’interaction O-Si, N.m-1.
$\gamma$ Constante de force coulombienne d’interaction Si-Si, N.m-1.
$\gamma$ Énergie de surface, mJ.m-2.
$\gamma^{d}$ Composante dispersive, mJ.m-2.
$\gamma^{p}$ Composante polaire, mJ.m-2.
$\gamma_{r}$ Vibration de déformation asymétrique dans le plan, -.
$\delta$ Vibration de déformation symétrique dans le plan, -.
$\varepsilon_{0}$ Constante diélectrique du vide, -.
$\varepsilon$ Constante diélectrique, -.
$\theta_{c}$ Angle de contact, °.
$\theta_{e}$ Température d’ébullition, K.
$\theta_{f}$ Température de fusion, K.
$\theta_{SiOSi}$ Angle de la liaison SiOSi, °.
$\lambda$ Longueur d’onde, nm.
$\mu$ Potentiel chimique, J.mol-1.
$\nu$ Fréquence, Hz.
$\widetilde{\nu}$ Nombre d’onde, cm-1.
$\nu_{as}$ Vibration d’élongation asymétrique, -.
$\nu_{s}$ Vibration d’élongation symétrique, -.
$\rho$ Masse volumique, kg.m-3.
$\tau$ Vibration de déformation asymétrique hors du plan, -.
$\tau$ Taux de dilution, %.
$\tau$ Taux de dissociation, %.
$\Phi$ Angle d’incidence, °.
$\omega$ Vibration de déformation symétrique hors du plan, -.
$\omega$ Fréquence angulaire de vibration, rad.s-1.

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