Liste des symboles

Aire, m2.
Absorbance, ua.
Aire intégrée, ua.
Célérité de la lumière, m.s-1.
Débit de gaz de dilution d, sccm.
Débit de gaz de bullage, sccm.
Distance inter-électrodes, mm.
Débit de précurseur, sccm.
Épaisseur, nm.
Champ électrique, V.m-1.
Énergie d’activation, J.m-3.
Énergie libre, J.
Force, N.
Accélération de la pesanteur, m.s-2.
Facteur géométrique, cm-2.
Énergie libre, J.
Travail d’adhésion, J.
Indice optique, -.
Coefficient d’absorption, -.
Masse, kg.
Masse molaire, g.mol-1.
Pression, Pa.
Paramètre composite plasma, W.sccm-1.
Proportion relative, %.
Puissance, W.
Densité de puissance surfacique, W.cm-2.
Densité de puissance volumique, W.cm-3.
Degré de réticulation, ua.
Écart moyen de rugosité, nm.
Écart quadratique de rugosité, nm.
Étalement, mJ.m-2.
Entropie, J.K-1.
Temps, s.
Température, K.
Transmittance, ua.
Énergie interne, J.
Volume, m3.
Vitesse de dépôt, nm.min-1.
Tension d’auto-polarisation, V.
Travail, J.
Charge transverse, C.
Constante de force centrale d’interaction O-Si, N.m-1.
Constante de force non centrale d’interaction O-Si, N.m-1.
Constante de force coulombienne d’interaction Si-Si, N.m-1.
Énergie de surface}, mJ.m-2.
Composante dispersive, mJ.m-2.
Composante polaire, mJ.m-2.
Vibration de déformation asymétrique dans le plan, -.
Vibration de déformation symétrique dans le plan, -.
Constante diélectrique du vide, -.
Constante diélectrique, -.
Angle de contact, °.
Température d’ébullition, K.
Température de fusion, K.
Angle de la liaison SiOSi, °.
Longueur d’onde, nm.
Potentiel chimique, J.mol-1.
Fréquence, Hz.
Nombre d’onde, cm-1.
Vibration d’élongation asymétrique, -.
Vibration d’élongation symétrique, -.
Masse volumique, kg.m-3.
Vibration de déformation asymétrique hors du plan, -.
Taux de dilution, %.
Taux de dissociation, %.
Angle d’incidence, °.
Vibration de déformation symétrique hors du plan, -.
Fréquence angulaire de vibration, rad.s-1.